Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл:
- Назва:
- Фадеев Алексей Владимирович. Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии
- ВНЗ:
- Физико-технологический институт РАН
- Короткий опис:
- Фадеев Алексей Владимирович. Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии: диссертация ... кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Фадеев Алексей Владимирович;[Место защиты: Физико-технологический институт РАН].- Москва, 2014.- 106 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб