Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Курочка, Александр Сергеевич. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций
- ВНЗ:
- Нац. исслед. технол. ун-т
- Короткий опис:
- Курочка, Александр Сергеевич. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Курочка Александр Сергеевич; [Место защиты: Нац. исслед. технол. ун-т].- Москва, 2013.- 149 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/1284
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб