Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Мустафаев, Арслан Гасанович. Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки
- ВНЗ:
- ГОУВПО "Южно-Российский государственный технический университет"
- Короткий опис:
- Мустафаев, Арслан Гасанович. Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 / Мустафаев Арслан Гасанович; [Место защиты: ГОУВПО "Южно-Российский государственный технический университет"].- Новочеркасск, 2011.- 278 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб