Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Фарафонов, Сергей Борисович. Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si
- ВНЗ:
- Нац. исслед. технол. ун-т
- Короткий опис:
- Фарафонов, Сергей Борисович. Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Фарафонов Сергей Борисович; [Место защиты: Нац. исслед. технол. ун-т].- Москва, 2011.- 213 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/287
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб