Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Беспалов Алексей Викторович. Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления
- ВНЗ:
- Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики
- Короткий опис:
- Беспалов Алексей Викторович. Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Беспалов Алексей Викторович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики].- Москва, 2010.- 118 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/3133
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб