Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Гришко Анна Сергеевна. Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках цилиндрической формы
- Короткий опис:
- Гришко Анна Сергеевна. Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках цилиндрической формы : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2005 136 с. РГБ ОД, 61:05-5/2875
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб