Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Авдиенко Александр Андреевич. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров
- Короткий опис:
- Авдиенко Александр Андреевич. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : Дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2004 322 c. РГБ ОД, 71:05-5/85
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб