Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Епимахов Игорь Дмитриевич. Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС
- Короткий опис:
- Епимахов Игорь Дмитриевич. Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2003 188 c. РГБ ОД, 61:04-5/1469
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб