Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Калугин Виктор Владимирович. Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе
- Короткий опис:
- Калугин Виктор Владимирович. Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2001.- 187 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/2991-3
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб