Антоненко, Константин Иванович. Голографическая диагностика газофазных процессов микроэлектроники
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Москва
Рік захисту:
2000
Короткий опис:
Антоненко, Константин Иванович. Голографическая диагностика газофазных процессов микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2000.- 143 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/306-X