Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Середин Лев Михайлович. Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента
- Короткий опис:
- Середин Лев Михайлович. Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Новочеркасск, 2000.- 175 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-5/2198-7
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб