Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Моргунов, Игорь Викторович. Разработка и исследование технологии получения эпитаксиальных слоев кремния Р-типа проводимости для базовых областей мощных высоковольтных транзисторов методом жидкофазной эпитаксии
- ВНЗ:
- Моск. ин-т стали и сплавов
- Короткий опис:
- Моргунов, Игорь Викторович. Разработка и исследование технологии получения эпитаксиальных слоев кремния Р-типа проводимости для базовых областей мощных высоковольтных транзисторов методом жидкофазной эпитаксии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т стали и сплавов.- Москва, 1995.- 23 с.: ил. РГБ ОД, 9 96-2/2375-2
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб