Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Сергеева Жанна Михайловна. Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии
- Короткий опис:
- Сергеева Жанна Михайловна. Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 1994 193 с. РГБ ОД, 61:94-5/873-2
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб