Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл:
- Назва:
- Осипов Артём Арменакович. Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой
- ВНЗ:
- ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»
- Короткий опис:
- Осипов Артём Арменакович. Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой: автореферат дис. ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Осипов Артём Арменакович;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»], 2019
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб