Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія рідкісних, розсіяних і радіоактивних елементів
скачать файл:
- Назва:
- Лобачев Юрий Анатольевич. Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники
- Короткий опис:
- Лобачев Юрий Анатольевич. Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.02.- Москва, 2002.- 132 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/1953-8
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб