Грязнов Роман Васильевич. Технология и свойства тонкопленочных материалов ZrO2 - SiO2
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Томск
Рік захисту:
2002
Короткий опис:
Грязнов Роман Васильевич. Технология и свойства тонкопленочных материалов ZrO2 - SiO2 : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.11, 02.00.04.- Томск, 2002.- 131 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2868-8