Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / електроніка
- Назва:
- Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
- ВНЗ:
- Томский политехн. ун-т
- Короткий опис:
- Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Томский политехн. ун-т.- Москва, 2000.- 22 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб