Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства



  • Назва:
  • Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
  • Кількість сторінок:
  • 200
  • ВНЗ:
  • Томский политехн. ун-т
  • Рік захисту:
  • 2000
  • Короткий опис:
  • Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Томский политехн. ун-т.- Москва, 2000.- 22 с.: ил.
  • Список літератури:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОШУК ГОТОВОЇ ДИСЕРТАЦІЙНОЇ РОБОТИ АБО СТАТТІ


Доставка любой диссертации из России и Украины