Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / електроніка
- Назва:
- Балашов, Владимир Николаевич. Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
- ВНЗ:
- Моск. ин-т электроники и математики
- Короткий опис:
- Балашов, Владимир Николаевич. Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электроники и математики.- Москва, 1998.- 39 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-7/992-8
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб