Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / електроніка
скачать файл:
- Назва:
- Березин, Андрей Сергеевич. Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники
- ВНЗ:
- Моск. ин-т электронной техники
- Короткий опис:
- Березин, Андрей Сергеевич. Разработка и исследование метода защиты полупроводниковых пластин от поверхностных загрязнений в чистых технологических миниобъемах микроэлектроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электронной техники.- Москва, 1997.- 22 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-5/3619-5
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб