Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / електроніка
скачать файл:
- Назва:
- Михайлов, Валерий Павлович. Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок лоя повышения их производительности
- Короткий опис:
- Михайлов, Валерий Павлович. Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок лоя повышения их производительности : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07.- Москва, 1995.- 18 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб