Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / електротехнології
скачать файл:
- Назва:
- Перинская Ирина Владимировна. Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистной литографии и защиты от коррозии
- ВНЗ:
- Сарат. гос. техн. ун-т
- Короткий опис:
- Перинская Ирина Владимировна. Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистной литографии и защиты от коррозии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10 / Перинская Ирина Владимировна; [Место защиты: Сарат. гос. техн. ун-т].- Саратов, 2010.- 135 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/3155
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб