Бычков Сергей Павлович Разработка и исследование лучистых нагревательных устройств для вакуумно-термического оборудования

Короткий опис

Бычков Сергей Павлович Разработка и исследование лучистых нагревательных устройств для вакуумно-термического оборудования
ОГЛАВЛЕНИЕ ДИССЕРТАЦИИ
кандидат наук Бычков Сергей Павлович
ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ПРОИЗВОДСТВЕ

ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

1.1. Технологические особенности термических процессов

в производстве изделий электронной техники

1.2. Анализ существующего вакуумно-термического

оборудования для изделий электронной техники

1.3. Нагревательные устройства вакуумно-термического оборудования

1.4. Обзор существующих методов расчета лучистых нагревательных

устройств

ГЛАВА 2. ВЫБОР ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НАГРЕВАТЕЛЬНОГО УСТРОЙСТВА

2.1. Классификация нагревательных устройств

2.2. Классификация ИК-нагревателей

2.3. Выбор рефлектора

2.4. Расчет системы охлаждения рефлектора

ГЛАВА 3. РАСЧЕТ ЛУЧИСТОГО ТЕПЛООБМЕНА

В СИСТЕМАХ ПОВЕРХНОСТЕЙ С ЛОКАЛЬНЫМ РАСПРЕДЕЛЕНИЕМ

ТЕМПЕРАТУР

ГЛАВА 4. МЕТОДИКА РАСЧЕТА И ПРОЕКТИРОВАНИЯ УСТРОЙСТВ ВАКУУМНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

4.1. Расчет тепловых потоков при магнетронном распылении твердых и жидкофазных мишеней

4.2. Результаты выполненных расчетов тепловых потоков

4.3. Экспериментальная проверка результатов расчета

4.4. Определение температуры и времени нагрева подложки

за счет тепловых потоков от мишени

Стр.

ГЛАВА 5. МЕТОДИКА ПРОЕКТИРОВАНИЯ МОДУЛЬНОГО

ЛУЧИСТОГО НАГРЕВАТЕЛЬНОГО УСТРОЙСТВА

ВЫВОДЫ И ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ