Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Амиров, Ильдар Искандерович. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств
- ВНЗ:
- Физ.-технол. ин-т РАН
- Короткий опис:
- Амиров, Ильдар Искандерович. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Амиров Ильдар Искандерович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2010.- 300 с.: ил. РГБ ОД, 71 11-1/167
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб