Аношкин Юрий Владимирович. Технология получения резистивных структур на низкоразмерном уровне
Кількість сторінок:
219
ВНЗ:
Пенз. гос. ун-т
Рік захисту:
2009
Короткий опис:
Аношкин Юрий Владимирович. Технология получения резистивных структур на низкоразмерном уровне : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Аношкин Юрий Владимирович; [Место защиты: Пенз. гос. ун-т].- Пенза, 2009.- 219 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/1171