Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Металургія кольорових металів
скачать файл: 
- Назва:
- Батов, Дмитрий Викторович. Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы
- Короткий опис:
- Батов, Дмитрий Викторович. Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.03.- Москва, 2000.- 138 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-5/925-1
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб