Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Математичне моделювання, чисельні методи та комплекси програм
скачать файл:
- Назва:
- Беневоленский Денис Сергеевич. Модельный анализ и разработка комплекса программ для системы дифрактометрических измерений геометрических размеров элементов топологии ИМС
- ВНЗ:
- Ин-т систем. анализа РАН
- Короткий опис:
- Беневоленский Денис Сергеевич. Модельный анализ и разработка комплекса программ для системы дифрактометрических измерений геометрических размеров элементов топологии ИМС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.18 / Беневоленский Денис Сергеевич; [Место защиты: Ин-т систем. анализа РАН].- Москва, 2009.- 202 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/1406
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб