Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Беневоленский, Сергей Борисович. Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники
- ВНЗ:
- Рос. гос. технологич. ун-т им. К. Э. Циолковского
- Короткий опис:
- Беневоленский, Сергей Борисович. Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Рос. гос. технологич. ун-т им. К. Э. Циолковского.- Москва, 2000.- 37 с.: ил. РГБ ОД, 9 00-2/2118-8
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб