Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Прилади і методи контролю та визначення складу речовин
скачать файл: 
- Назва:
- Березина Наталия Вадимовна. Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем
- Короткий опис:
- Березина Наталия Вадимовна. Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13.- Москва, 2001.- 122 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/851-X
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб