Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Радіотехнічні пристрої та засоби телекомунікацій
скачать файл: 
- Назва:
- Бесогонов, Валерий Валентинович. Исследование влияния конструкции установки параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок
- Короткий опис:
- Бесогонов, Валерий Валентинович. Исследование влияния конструкции установки параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13.- Москва, 1996.- 18 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб