Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Бейсенханов, Нуржан Бейсенханович. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами
- ВНЗ:
- Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
- Короткий опис:
- Бейсенханов, Нуржан Бейсенханович. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Бейсенханов Нуржан Бейсенханович; [Место защиты: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН].- Черноголовка, 2011.- 215 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб