Каталог / Фізико-математичні науки / Фізика конденсованого стану
скачать файл: 
- Назва:
- Боднарь, Олег Борисович. Теоретические и экспериментальные исследования диффузии бора и фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния
- ВНЗ:
- Моск. акад. приборостроения и информатики
- Короткий опис:
- Боднарь, Олег Борисович. Теоретические и экспериментальные исследования диффузии бора и фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Моск. акад. приборостроения и информатики.- Москва, 1997.- 26 с.: ил. РГБ ОД, 9 97-1/3187-7
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб