Каталог / Фізико-математичні науки / Фізика конденсованого стану
скачать файл: 
- Назва:
- Чесноков Юрий Михайлович. Фазовые превращения в сверхтонких слоях материалов наноэлектроники на основе HfO2 и Si, имплантированного He+
- ВНЗ:
- ФГБУ «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
- Короткий опис:
- Чесноков Юрий Михайлович. Фазовые превращения в сверхтонких слоях материалов наноэлектроники на основе HfO2 и Si, имплантированного He+;[Место защиты: ФГБУ «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»], 2023
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб