Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл: 
- Назва:
- Данилкин Евгений Викторович. Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции
- ВНЗ:
- Моск. гос. ин-т электронной техники
- Короткий опис:
- Данилкин Евгений Викторович. Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Данилкин Евгений Викторович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2008.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/488
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб