Дефектообразование в объемных материалах и графене при ионном облучении Балакшин Юрий Викторович

Короткий опис

Балакшин, Юрий Викторович.Дефектообразование в объемных материалах и графене при ионном облучении : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.20. - Москва, 2021. - 128 с. : ил.

Оглавление диссертациикандидат наук Балакшин Юрий Викторович
Цель и задачи исследования
Объект и предмет исследования
Методология исследования
Научная новизна
Положения, выносимые на защиту
Теоретическая и практическая значимость
Степень достоверности результатов
Личный вклад автора
Апробация результатов и публикации
Объем и структура диссертации
Глава 1 Торможение ионов в веществе
1.1 Потери энергии на ион-ядерное взаимодействие
1.2 Потери энергии на ион-электронное взаимодействие
1.3 Дефектообразование под действием облучения
1.4 Аморфизация слоев
1.5 Каскады смещений и их эволюция
1.6 Дефектообразование в наноструктурированных объектах
Глава 2 Аппаратура и методы исследования
2.1 Базовая часть ускорителя
2.2 Экспериментальная линия РОР
2.3 Ионопровод
2.4 Экспериментальная камера и измерительный тракт
2.5 Методика резерфордовского обратного рассеяния
2.6 Комбинационное рассеяние света
2.7 Исследуемые образцы
Глава 3 Экспериментальные результаты
3.1 Определение энергетического разрешения методики РОР
3.2 Спектры от кремниевой мишени с внедренной примесью
3.3 Облучение объемного кремния
3.4 Изучение дефектообразования в кремнии методами РОР и КРС
3.5 Дефектообразование под действием облучения в графене
Заключение
Список используемых сокращений и обозначений
Список литературы