Двухфотонная лазерная литография для создания планарных и трехмерных полимерных оптических элементов видимого и рентгеновского диапазонов Двухфотонная лазерная литография для создания планарных и трехмерных полимерных оптических элементов видимого и рентгеновского диапазонов

Короткий опис

Абрашитова, Ксения Александровна.
Двухфотонная лазерная литография для создания планарных и трехмерных полимерных оптических элементов видимого и рентгеновского диапазонов : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21 / Абрашитова Ксения Александровна; [Место защиты: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)]. - Москва, 2020. - 153 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Абрашитова Ксения Александровна
Введение
Глава 1. Обзор литературы
1.1 Метод двухфотонной лазерной литографии
1.1.1 Двухфотонное поглощение
1.1.2 Фоторезисты и предел полимеризации
1.1.3 Двухфотонная лазерная литография
1.2 Преломляющие фокусирующие оптические элементы для рентгеновского диапазона
1.2.1 Источники рентгеновского излучения
1.2.2 Взаимодействие рентгеновского излучения с веществом
1.2.3 Методы фокусировки рентгеновского излучения
1.2.4 Составные преломляющие рентгеновские линзы
1.3 Элементы интегральной оптики для блоховских поверхностных электромагнитных волн
1.3.1 Поверхностные электромагнитные волны
1.3.2 Теоретическое описание распространения блоховских поверхностных электромагнитных волн
1.3.3 Микроскопия мод утечки для характеризации распространения блоховских поверхностных электромагнитных волн
1.4 Нелинейно-оптические свойства полупроводниковых материалов
Глава 2. Трёхмерные полимерные преломляющие
рентгеновские линзы
2.1 Экспериментальная установка двухфотонной лазерной литографии
2.2 Описание формата файлов структур для программы
управления установкой двухфотонной лазерной литографии
2.3 Геометрические параметры трёхмерных моделей составных преломляющих рентгеновских линз
Стр.
2.4 Создание экспериментальных образцов составных преломляющих рентгеновских линз
2.5 Исследование фокусирующей и изображающей способности составных преломляющих рентгеновских линз
2.5.1 Исследование фокусирующей способности составных преломляющих рентгеновских линз методом ножевого сканирования
2.5.2 Исследование фокусирующей способности составных преломляющих рентгеновских линз методом птихографии
2.5.3 Исследование изображающей способности составных преломляющих рентгеновских линз методом полнопольной рентгеновской микроскопии
Глава 3. Элементы интегральной оптики для блоховских
поверхностных электромагнитных волн
3.1 Создание планарных структур методом двухфотонной лазерной литографии
3.1.1 Формат файлов планарных структур
3.1.2 Процедура нанесения тонких полимерных слоёв
3.2 Изготовление элементов интегральной оптики для блоховских поверхностных электромагнитных волн методом двухфотонной лазерной литографии
3.3 Исследование элементов интегральной оптики для блоховских поверхностных электромагнитных волн методом микроскопии
мод утечки
Глава 4. Композитный фоторезист для двухфотонной
лазерной литографии
4.1 Композитный фоторезист на основе квантовых точек CdSe и
фоторезиста SU-8
4.1.1 Создание композитного фоторезиста
4.1.2 Просвечивающая электронная микроскопия плёнок композитного фоторезиста
Стр.
4.1.3 Спектроскопия поглощения плёнок композитного фоторезиста
4.1.4 Люминесцентная микроскопия структур из композитного фоторезиста
4.2 Определение нелинейно-оптических свойств квантовых точек
методом z-сканирования
Заключение
Список литературы