Экспериментальное исследование кинетики атомов в N2/O2 плазме оптическими методами Волынец Андрей Владимирович

Короткий опис

Волынец,АндрейВладимирович.ЭкспериментальноеисследованиекинетикиатомоввN2/O2плазмеоптическимиметодами: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.15 /ВолынецАндрейВладимирович; [Место защиты: Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова]. - Москва, 2019. - 146 с. : ил.больше
Цитаты из текста:

стр. 1
ВолынецАндрейВладимировичЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕИССЛЕДОВАНИЕКИНЕТИКИАТОМОВВ N2/O2ПЛАЗМЕОПТИЧЕСКИМИМЕТОДАМИСпециальность 01.04.15 Физика и технология

стр. 9
поглощения. Теоретическая часть включает в себя аналитическое моделирование поверхностных и объёмных потерьатомов, а также самосогласованное моделирование всего разряда (дляатомовN). Отметим также, что изложенное здесьисследованиекинетикиатомовO является комплементарным работе [22], посвящённой

стр. 11
наблюдать ФРЭЭ различных типов вплазмерассмотренных газов (O2, N2 и SF6). Висследованиях, изложенных в главах 2 и 3, объектомисследованияявляетсякинетикаатомовазота и кислорода вплазмечистых газов (N2 и O2, соответственно) в промежуточном диапазоне давлений (~10-100 Торр). То есть, изучаются процессы

Оглавление диссертациикандидат наук Волынец Андрей Владимирович
Введение
Актуальность темы исследования и степень её разработанности
Цели работы
Задачи, необходимые для достижения поставленных целей
Объект и предмет исследования
Научная новизна
Теоретическая и практическая значимость
Методология диссертационного исследования
Положения, выносимые на защиту
Степень достоверности
Личный вклад
Апробация результатов
Публикации
Объём и структура работы
Краткое содержание работы
Список использованных сокращений
Глава 1. Верификация метода актинометрии для измерения плотности атомов O и N
1.1 Метод актинометрии
1.2 Экспериментальная установка
1.3 Диагностики
1.3.1 Зондовые измерения
1.3.2 Актинометрические измерения
1.3.3 Масс-спектрометрические измерения
1.4 Результаты и обсуждение
1.4.1 Актинометрия атомов кислорода
1.4.2 Актинометрия атомов азота
1.4.3 Обсуждение точности полученных данных по сечениям возбуждения
1.5 Основные выводы главы
Глава 2. Кинетика атомов азота в плазме ПС тлеющего разряда постоянного тока в чистом N2 промежуточных давлений
2.1 Эксперимент
2.1.1 Экспериментальная установка и обзор диагностик
2.1.2 Газовая температура и приведённое поле в плазме ПС
2.1.3 Определение степени диссоциации N2 методом актинометрии
2.1.4 Определение скорости потерь атомов азота. Анализ поверхностных процессов на стенке трубки
2.1.5 Определение плотности плазмы в ПС
2.1.6 Итоги эксперимента и сравнение с результатами самосогласованного моделирования разряда
2.2 Самосогласованное 1-D моделирование плазмы ПС разряда
2.3 Основные выводы главы
Глава 3. Кинетика атомов кислорода в плазме ВЧ разряда в чистом O2 промежуточных давлений
3.1 Экспериментальная установка
3.2 Диагностики
3.2.1 Измерения газовой температуры
3.2.2 Актинометрия
3.2.3 УФ спектроскопия поглощения
3.3 Результаты и обсуждение
3.3.1 Температура газа и стенок
3.3.2 Плотность атомов O
3.3.3 Потери атомов O на поверхности
3.3.4 Потери атомов O в объёме
3.4 Основные выводы главы
Заключение
Публикации автора по теме диссертации в рецензируемых журналах, индексируемых Scopus и Web of Science
Благодарности
Список литературы