Формирование олеофобных структур оптически-прозрачных бинарных покрытий, осаждаемых реакционным распылением в аргон-азот-кислородной плазме магнетронного разряда Бернт Дмитрий Дмитриевич

Короткий опис

Бернт, Дмитрий Дмитриевич.
Формирование олеофобных структур оптически-прозрачных бинарных покрытий, осаждаемых реакционным распылением в аргон-азот-кислородной плазме магнетронного разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Бернт Дмитрий Дмитриевич; [Место защиты: Нац. исслед. ядерный ун-т]. - Москва, 2019. - 156 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Бернт Дмитрий Дмитриевич
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ГИДРОФОБНОСТЬ И СТРУКТУРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ
§ 1.1 Гидро- и олеофобность поверхности, основной закон смачивания
1.1.1 Гистерезисные эффекты смачивания
1.1.2 Контактный угол смачивания и радиус растекания капли жидкости по шероховатой поверхности твердого тела
§ 1.2 Олеофобные и супергидрофобные оптически-прозрачные покрытия
1.2.1 Хемомеханическая устойчивость олеофобных оптически-прозрачных покрытий
§ 1.3 Способы получения олеофобных оптически-прозрачных покрытий
1.3.1 Получение олеофобных оптически-прозрачных покрытий в процессе самосборки частиц
1.3.2 Получение олеофобных оптически-прозрачных покрытий переносом структуры на полимеры методом нанопечатной литографии
1.3.3 Получение олеофобных оптически-прозрачных покрытий формированием наноструктур в керамических материалах
§ 1.4 Структурное формирование в материалах, осаждаемых физическим распылением в плазме магнетронного разряда
Выводы к главе
ГЛАВА 2. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ РУБ - ОСАЖДЕНИЯ ОЛЕОФОБНЫХ ОПТИЧЕСКИ-ПРОЗРАЧНЫХ ПОКРЫТИЙ И МЕТОДЫ ИХ ИССЛЕДОВАНИЯ
§ 2.1 Оборудование для осаждения олеофобных оптически-прозрачных покрытий из магнетронной плазмы
2.1.1 Получение олеофобных оптически-прозрачных покрытий осаждением из плазмы магнетронного разряда
2.1.2 Поддержание стабильного процесса реакционного магнетронного распыления
§ 2.2 Определение степени олеофобности поверхности
§ 2.3 Методы характеризации структуры и состава поверхности
§ 2.4 Анализ хемомеханической устойчивости и стабильности олеофобных качеств покрытий
Выводы к главе
ГЛАВА 3. ОЛЕОФОБНЫЕ ОПТИЧЕСКИ-ПРОЗРАЧНЫЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ, НАНОСИМЫЕ НА СТЕКЛЯННЫЕ ПОДЛОЖКИ ИЗ ПЛАЗМЫ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА
§ 3.1 Элементный состав и особенностей морфологии поверхности олеофобных тонкопленочных PVD покрытий ZnSn и SiAl
§ 3.2 Оптическая прозрачность и олеофобные качества покрытий
§ 3.3 Оценка эффективности использования олеофобных PVD слоев SiAl и ZnSn для защиты энергоэффективных Low-E покрытий в ходе промышленной переработки
Выводы к главе
ГЛАВА 4. СТАБИЛЬНОСТЬ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ КАЧЕСТВ И
ХЕМОМЕХАНИЧЕСКАЯ УСТОЙЧИВОСТЬ ПОЛУЧЕННЫХ ПОКРЫТИЙ
§ 4.1 Стабильность олеофобных и оптических качеств ZnSn и SiAl покрытий
§ 4.2 Механическая устойчивость олеофобных оптически-прозрачных ZnSn и SiAl PVD покрытий
§ 4.3 Химическая устойчивость низкоэмиссионных многослойных покрытий на стекле с верхним защитным олеофобным слоем
§ 4.4 Изменение олеофобных качеств оптически-прозрачных PVD покрытий SiAl и ZnSn при абразивном истирании
Выводы к главе
ГЛАВА 5. МЕХАНИЗМ ФОРМИРОВАНИЯ ОЛЕОФОБНОЙ СТРУКТУРЫ
ОПТИЧЕСКИ-ПРОЗРАЧНЫХ БИНАРНЫХ ПОКРЫТИЙ, РЕАКЦИОННО
ОСАЖДАЕМЫХ ИЗ Ar+O2+N2 ПЛАЗМЫ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА
§ 5.1 Расчет состава осаждаемого вещества
§ 5.2 Экспериментальное наблюдение «оксидного» и «нитридного» состояний реакционного распыления мишеней в Ar+N2+O2 газовой смеси по характеристическому излучению плазмы
§ 5.3 Влияние концентрации азота в реакционной газовой смеси на состав мишени и покрытия
§ 5.4 Процесс аномального роста зерен
Выводы к главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Литература