Каталог / Фізико-математичні науки / Фізика конденсованого стану
скачать файл: 
- Назва:
- Голованов Антон Владимирович. Травление планарных структур «алмаз-металл» и «алмаз-диэлектрик» высокочастотным газовым разрядом низкого давления
- ВНЗ:
- ФГБУ «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
- Короткий опис:
- Голованов Антон Владимирович. Травление планарных структур «алмаз-металл» и «алмаз-диэлектрик» высокочастотным газовым разрядом низкого давления;[Место защиты: ФГБУ «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб