Каталог / Фізико-математичні науки / фізична електроніка
скачать файл: 
- Назва:
- Гренадёров Александр Сергеевич. Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения
- ВНЗ:
- ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»
- Короткий опис:
- Гренадёров Александр Сергеевич. Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения: автореферат дис. ... кандидата Технических наук: 01.04.04 / Гренадёров Александр Сергеевич;[Место защиты: ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»], 2018
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб