Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Гуляев, Вячеслав Валентинович. Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3
- ВНЗ:
- Воронеж. гос. техн. ун-т
- Короткий опис:
- Гуляев, Вячеслав Валентинович. Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3 : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Гуляев Вячеслав Валентинович; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т].- Воронеж, 2011.- 135 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/2194
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб