Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Гусев Евгений Юрьевич. Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур
- ВНЗ:
- Технол. ин-т Юж. федер. ун-та
- Короткий опис:
- Гусев Евгений Юрьевич. Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Гусев Евгений Юрьевич; [Место защиты: Технол. ин-т Юж. федер. ун-та].- Таганрог, 2009.- 171 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/1087
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб