Хуинь Конг Ту. Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний-диоксид кремния

Короткий опис

Хуинь Конг Ту. Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний-диоксид кремния: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.03 / Хуинь Конг Ту;[Место защиты: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики»].- Санкт-Петербург, 2014.- 147 с.