Исследование физических механизмов и динамики анизотропного локального плавления поверхности кремния при импульсном световом облучении Львова, Татьяна Николаевна

Короткий опис

Львова, Татьяна Николаевна.
Исследование физических механизмов и динамики анизотропного локального плавления поверхности кремния при импульсном световом облучении : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Казань, 1999. - 144 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Львова, Татьяна Николаевна
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I. ВОЗДЕЙСТВИЕ ИМПУЛЬСНОГО СВЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ И ИМПЛАНТИРОВАННЫЙ КРЕМНИЙ
§1.1. Общая характеристика различных режимов импульсного отжига.
§1.2. Анизотропное локальное плавление монокристаллического и имплантированного кремния
§1.3. Расчеты температурных полей при ИСО
§1.4. Дефектность имплантированного и отожженного кремния.
§1.5. Термопластические эффекты в полупроводниках в процессе импульсного светового отжига.
§1.6. Методики исследования динамики структурных и фазовых переходов на поверхности полупроводников при импульсных световых обработках
§1.6.1. Методика зондирования, основанная на изменении интенсивности отраженного от поверхности образца излучения зондирующего лазера.
§1.6.2. Исследование динамики процессов с помощью киносъемки
§1.7. Краткие выводы из анализа литературы.
§1.8. Задачи диссертационной работы.
ГЛАВА II. ТЕХНИКА И МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
§2.1. Подготовка образцов и техника ионной имплантации
§2.2. Обработка образцов импульсным некогерентным излучением
§2.3. Техника импульсной твердофазной диффузии
§2.4. Методика исследования кристаллической структуры и микрорельефа поверхности кремния
§2.5. Методика исследования электрофизических параметров ионнолегированных слоев
§ 2.6. Установка для исследования динамики зарождения и роста ЛОП
§2.7. Установка для исследования динамики структурных и фазовых переходов на поверхности ионно-имплантированных слоев кремния.
ГЛАВА III. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭФФЕКТА АНИЗОТРОПНОГО
ЛОКАЛЬНОГО ПЛАВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО
И ИМПЛАНТИРОВАННОГО КРЕМНИЯ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ РЕЖИМАХ ИМПУЛЬСНОГО СВЕТОВОГО ОБЛУЧЕНИЯ.
§3.1. Исследование эффекта анизотропного локального плавления в монокристаллическом кремнии.
§3.2. Исследование эффекта анизотропного локального плавления в имплантированном кремнии.
§3.3. Исследование трансформации кристаллической структуры ионнолегированных слоев кремния.