Каталог / Фізико-математичні науки / Фізика ядра, елементарних частинок і високих енергій
скачать файл:
- Назва:
- Иванов Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм
- ВНЗ:
- ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
- Короткий опис:
- Иванов Владимир Викторович. Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм;[Место защиты: ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб