Кагадей, Валерий Алексеевич. Кратковременно ускоренное испарение примесей из ионно-легированных слоев кремния
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Томск
Рік захисту:
1994
Короткий опис:
Кагадей, Валерий Алексеевич. Кратковременно ускоренное испарение примесей из ионно-легированных слоев кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04.- Томск, 1994.- 21 с.: ил.