Карами, Юсеф. Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Санкт-Петербург
Рік захисту:
2000
Короткий опис:
Карами, Юсеф. Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04.- Санкт-Петербург, 2000.- 141 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-2/513-9