Кибалов, Дмитрий Станиславович. Метод фотоэдс в РЭМ и его применение для диагностики кремниевых структур
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Москва
Рік захисту:
1992
Короткий опис:
Кибалов, Дмитрий Станиславович. Метод фотоэдс в РЭМ и его применение для диагностики кремниевых структур : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04.- Москва, 1992.- 24 с.: ил.