Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Автоматизація та управління технологічними процесами та виробництвами
 
скачать файл: 
- Назва: 
 - Клебанова, Ирина Валентиновна. Синтез самонастраивающихся систем управления технологическими процессами сухого травления кремния
 
- ВНЗ: 
 - Моск. авиацион. ин-т.- Москва
 
- Короткий опис: 
 - Клебанова, Ирина Валентиновна. Синтез самонастраивающихся систем управления технологическими процессами сухого травления кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 / Моск. авиацион. ин-т.- Москва, 1994.- 13 с.: ил. РГБ ОД, 9 94-2/3255-1
 
- Стоимость доставки: 
 - 230.00 руб