Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Коломийцев, Алексей Сергеевич. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур
- ВНЗ:
- Технол. ин-т Южного федер. ун-та
- Короткий опис:
- Коломийцев, Алексей Сергеевич. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Коломийцев Алексей Сергеевич; [Место защиты: Технол. ин-т Южного федер. ун-та].- Таганрог, 2011.- 187 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/2749
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб