Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Корпухин, Андрей Сергеевич. Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе
- ВНЗ:
- Нац. исслед. ун-т МЭИ
- Короткий опис:
- Корпухин, Андрей Сергеевич. Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Корпухин Андрей Сергеевич; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МЭИ].- Москва, 2012.- 129 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/373
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб